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掃描電鏡與透射電鏡的區別

  掃描電鏡和透射電鏡這兩種設備都使用電子來獲取樣品的圖像,它們的主要組成部分是相同,下麵就介紹一下兩者之間的區別

 


SS-150掃描電鏡


 

 

  一、掃描電鏡的特點

 

  和光學顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點:

 

  (一) 能夠直接觀察樣品表麵的結構,樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

 

  (二) 樣品製備過程簡單,不用切成薄片。

 

  (三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉,因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。

 

  (四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。

 

  (五) 圖象的放大範圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大範圍。分辨率介於光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。

 

  (六) 電子束對樣品的損傷與汙染程度較小。

 

  (七) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析

 

  透射電鏡是以電子束透過樣品經過聚焦與放大後所產生的物像, 投射到熒光屏上或照相底片上進行觀察。透射電鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數為幾萬~幾十萬倍。由於電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,必須製備更薄的超薄切片(通常為50~100nm)。其製備過程與石蠟切片相似,但要求極嚴格。要在機體死亡後的數分鍾釣取材,組織塊要小(1立方毫米以內),常用戊二醛和餓酸進行雙重固定樹脂包埋,用特製的超薄切片機(ultramicrotome)切成超薄切片,再經醋酸鈾和檸檬酸鉛等進行電子染色。

 

  電子束投射到樣品時,可隨組織構成成分的密度不同而發生相應的電子發射,如電子束投射到質量大的結構時,電子被散射的多,因此投射到熒光屏上的電子少而呈暗像,電子照片上則呈黑色。稱電子密度高(electron dense)。反之,則稱為電子密度低(electron lucent)。

 

Sense_5kV_SE_HighVac_x2.5K_MiniSEM_0副本

 

  從所提到的一切來看,顯然沒有“更好”的技術;這完全取決於需要的分析類型。 當用戶想要從樣品內部結構獲得信息時,透射電鏡(TEM)是最佳的選擇,而當需要樣品表麵信息時,掃描電鏡(SEM)是首選。 當然主要決定因素是兩個係統之間的巨大價格差異,以及易用性。 透射電鏡(TEM)可以為用戶提供更多的分辨能力和多功能性,但是它們比掃描電鏡(SEM)更昂貴且體型較大,需要更多操作技巧和複雜的前期製樣準備才能獲得滿意的結果。

 

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