掃描電鏡的基本影響要素

掃描電鏡的基本影響要素

掃描電鏡是介於透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表麵材料的物質性能進行微觀成像。

掃描電鏡的優點

①有較高的放大倍數，20-20萬倍之間連續可調；

②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表麵的細微結構；

③試樣製備簡單。

放大倍數

掃描電鏡的放大倍數可表示為M =Ac/As式中，Ac—熒光屏上圖像的邊長；As—電子束在樣品上的掃描振幅。一般地，Ac 是固定的(通常為100 mm)，則可通過改變As 來改變放大倍數。

目前，大多數商品掃描電鏡放大倍數為20～20,000倍，介於光學顯微鏡和透射電鏡之間，即掃描電鏡彌補了光學顯微鏡和透射電鏡放大倍數的空擋。

景 深

景深是指焦點前後的一個距離範圍，該範圍內所有物點所成的圖像符合分辨率要求，可以成清晰的圖像；也即，景深是可以被看清的距離範圍。

掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由於圖像景深大，所得掃描電子像富有立體感。電子束的景深取決於臨界分辨本領d0和電子束入射半角αc。其中，臨界分辨本領與放大倍數有關，因人眼的分辨本領約為0.2 mm, 放大後，要使人感覺物像清晰，必須使電子束的分辨率高於臨界分辨率d0 ：電子束的入射角可通過改變光闌尺寸和工作距離來調整，用小尺寸的光闌和大的工作距離可獲得小的入射電子角。